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CLEANVEYOR® 無塵室保護鏈條​

實現了「零發塵」的電纜解決方案!

在無塵室中使用的半導體、液晶的製造及檢查裝置,對於空氣潔淨度極為敏感。「CLEANVEYOR® 無塵室保護鏈條」具有ISO 1的清潔度,最適用於在需要極度避免粉塵的設備上方的可動部分,可維持無塵室環境的穩定性,提高製程良率。

如果設備下方的可動部存在粉塵飛揚的問題,也建議用於設備的下方。

CLEANVEYOR無塵室保護鏈條3.jpg
CLEANVEYOR® 無塵室保護鏈條的特色:

低發塵:電纜,軟管與支撐件收納於氟塑包中,防止磨耗粉塵的飛散, 具有ISO 1級的清潔度, 最適用於在無塵室。  *註1


低噪音:實現噪音等級 38dB (A)以下。  *註2


長壽命:彎曲次數達100 萬次以上 (椿本內部測試結果),可有效防止因電纜間滑動或干涉所造成的斷線問題,耐久性高。


採用獨有支撐部件,維持精准的軌道,穩定支持導向電纜保護鏈條。

*註1 以ISO 14644-1「空氣潔淨度分級」為標準的德國弗朗霍夫生產工學自動化研究所(IPA)的測試結果
*註2 椿本以移動速度 100m/mi、噪音測量距離 500mm進行測量後的測試結果

CLEANVEYOR® 無塵室保護鏈條的結構:
CLEANVEYOR無塵室保護鏈條1.jpg
CLEANVEYOR® 無塵室保護鏈條的實例圖:
CLEANVEYOR無塵室保護鏈條2.jpg
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